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激光干涉儀的操作步驟
1.系統(tǒng)的相互連接
將PC10計算機系統(tǒng)與ML10激光干涉儀用通訊電纜連接。
如果需要，將PC10計算機系統(tǒng)與EC10環(huán)境補償單元用通訊電纜
連接。
將PC10、ML10、EC10分別接上電源線，再接到電源插板上。。通過穩(wěn)壓電源，將總電源線接到220V接地電源上。
2.激光的預熱
閉合激光干涉儀開關，使激光預熱大約15~ 20 分鐘，等激光指示燈出現(xiàn)綠色后，表明激光已穩(wěn)定。

3.測量軟件的啟動
打開計算機，在“C”提示符下依次鍵入:
CD/RENISHAW (RETURN)
。RCS  (R ETURN)
。a  (RETURN)
。b  (RETURN)
完成以上步驟后，測量軟件已被啟動。
4.光學鏡的安裝

 將反射鏡用夾緊塊、 安裝桿、磁性表座固定在機床運動部件上。

將反射鏡和分光鏡組合組成干涉鏡;將干涉鏡用夾緊塊、安裝桿、磁性表座固定在機床不可運動部件或其它固定部件上。

5.激光調整
調整激光，使其與測量方向一致。調整時，首先用粗光束調，然后用細光束調。

保證信號強度達到測量精度要求并恒定( 由計算機上信號強度指示確定)。

調整透射光線和折射光線重合。
6.日標值設定
根據(jù)測量要求，設定目標值，目標值的設定應盡可能的覆蓋整個行程范圍。

 7.數(shù)據(jù)采集
按目標值設定要求編制數(shù)控測量程序，在每個測量點必須有足夠的延時設定(由機床操作人員完成)
.設定數(shù)據(jù)采集參數(shù)，主要包括;線性/圓周、測量次數(shù)、單向/雙向、
測量信息等。
按“ALI+D”進行數(shù)據(jù)采集。
數(shù)據(jù)采集完后，按“ESC”終止采集過程。
8.數(shù)據(jù)分析
選擇“數(shù)據(jù)分析”菜單，按相關標準要求進行數(shù)據(jù)分析，分別給出雙向定位精度，重復性，反向偏差等精度指標。

 9.計算機系統(tǒng)的退出
按以下步驟退出系統(tǒng):
按“ALT+X”退回到“主菜單
按“x”退出本軟件
按“CD\”退出子目錄
關機
10.測量完成后的工作
關閉ML10。
關閉EC10。
關閉電源插板開關。

      激光干涉儀的注意事項
1.搬運儀器附件箱時，應輕拉輕放，防止振壞激光干涉儀或其它附件。

2.三角架在使用時，應將各緊固螺釘固緊，防止意外事故的發(fā)生。

3.激光干涉儀在使用時，應用兩松緊帶固緊。

4.安裝光學鏡時，要小心謹慎，防止摔壞或碰壞光學鏡，特別禁止“懸空”安裝光學鏡。

5.嚴禁用手觸摸光學鏡鏡面，保持鏡面干凈。