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三坐標(biāo)即三坐標(biāo)測量機(jī)，英文Coordinate Measuring Machine，縮寫CMM，它是指在三維可測的空間范圍內(nèi)，能夠根據(jù)測頭系統(tǒng)返回的點(diǎn)數(shù)據(jù)，通過三坐標(biāo)的軟件系統(tǒng)計(jì)算各類幾何形狀、尺寸等測量能力的儀器，又稱為三次元、三坐標(biāo)測量機(jī)、三坐標(biāo)測量儀。

三坐標(biāo)儀器校驗(yàn)前準(zhǔn)備的工具： 行業(yè)常用的步距規(guī)和塊規(guī)。

儀器校驗(yàn)公式：校驗(yàn)公式也就是精度公式，一般有兩個：單軸精度公式和空間精度公式。

常數(shù)+系數(shù)X測量長度/1000 （如：1.9+4X測量長度/1000）注：測量長度單位為：mm, 檢驗(yàn)公式(精度公式)按每個廠家每種機(jī)器廠家確認(rèn)，格式基本一樣但要求不一樣。所以價(jià)格也不一樣。

進(jìn)行三坐標(biāo)的儀器校驗(yàn)步驟：

1、先儀器檢測三個單軸Ｘ、Ｙ、Ｚ的精度。

把儀器校驗(yàn)工具擺放在大理石（工作臺）的中央，擺正使其和X軸運(yùn)行導(dǎo)軌方向平行。鎖定Y軸。然后測量步距規(guī)或塊規(guī)，看測量出來的結(jié)果是否和所測步距規(guī)或塊規(guī)長度相當(dāng)。同理，檢驗(yàn)Y軸、Z軸精度。

2、三個面的對角精度ＸＹ、ＸＺ、ＹＺ每個面有兩個共６個。

3、三坐標(biāo)測量機(jī)三軸和量程范圍構(gòu)成的立方體的4條對角線的精度，共4個方向。

以上一起共13個方向。且每個方向都有一個量程要求以及間隔要求。

    測量后精度在檢驗(yàn)公式范圍內(nèi)，則儀器校準(zhǔn)結(jié)果為合格，否則要把機(jī)器的精度補(bǔ)正。